O princípio de trabalho da bomba de vácuo parafuso seco é realizar a entrega e a compressão de gás, alterando periodicamente o volume entre dentes através do movimento oposto de um par de rotores de parafuso assimétricos. O processo específico é dividido em três estágios: sucção, compressão e escape:
Processo de admissão: Quando o rotor começa a girar, o volume entre dentes se expande gradualmente, formando um vácuo e o gás é sugado sob a ação da diferença de pressão. À medida que o rotor continua girando, o volume entre dentes continua a se expandir e permanece conectado ao orifício de sucção até que o processo de sucção termine.
Processo de compressão: À medida que o rotor gira ainda mais, o volume entre dentes começa a diminuir e o volume do gás selado também diminui, resultando em um aumento na pressão, realizando assim o processo de compressão a gás.
Processo de exaustão: quando o volume entre dentes é conectado ao orifício de exaustão, o gás com pressão de escape é gradualmente descarregado através do orifício de escape até que o gás no volume entre dentes seja completamente descarregado.
